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1、粘度不同：真空泵油具有一定的粘度，粘度的高低决定了真空泵的密封性，粘度的过小，密封性则不好，粘度过高，会加大泵内叶片与缸体的摩擦力度，润滑作用就会变差，同时转子的旋转将会变得困难，电机的压力将会变高，油温也会越来越高。油温的升高会加速泵油的乳化呈度，真接影响真空度的高低。
2、化学性质不同：真空泵油的化学性质更趋于稳定，水分、水溶酸、不溶碱和其它杂质的含量要小的多的多，使用专用油能效的辟免多次更换真空泵油和保障泵内清洁度的问题。
3、蒸气压不同：真空泵油的饱积蒸气压要低，易挥发的轻镏分要少。如果是普通的真空泵油或机油则很容易挥发，使用非真空泵专用油则面临经常加油的局面。
